1、駕駛人員、押運人員必須經過專門培訓，持證上崗，嚴格遵守操作規程。
2、裝車前，先檢查車況和排氣管的阻火裝置，保證車況和排氣管的阻火裝置良好。
3、作業人員戴化學安全防護眼鏡，戴防化學品手套。
4、裝車時，必須將靜電接地裝置連好，保持車輛周圍干燥。
5、裝車過程中，嚴禁吸煙等明火，密切注意裝油情況，防止三氯硅烷溢出。
6、裝車后，必須對車輛密封，防止運輸過程中拋灑。
6、卸車時，必須將靜電接地裝置連好，嚴禁吸煙等明火，將管道捆綁牢固，防止管道脫落，造成三氯硅烷外泄。
7、運輸時，運輸車輛應配備相應品種和數量的消防器材及泄漏應急處理設備；運輸過程中，應防曝曬、雨淋，防高溫；中途停留時應遠離火種、熱源
8、身上沾上三氯硅烷，用大量清水沖洗。