1、查看電源：保持開關完整無損。拋光機安全開機流程：連接外電源→打開設備電源總開關→設備電源起動開關。拋光機安全關機流程：關閉拋光盤轉動→關閉設備電源開關→斷開外電源連接。
2、禁止隨意亂接亂拉電線，開關插座必須上墻。在進行設備清潔或打掃衛生時，防止水濺到電源上。
3、禁止非工作人員擅自進入工作區。
4、拋光機工作時，如遇到緊急情況應立即關閉總電源開關。
5、取下拋光砣觀察晶片時，必須先停止拋光盤轉動，抬起壓力控制臂，待壓力控制臂完全抬起時，方能取出拋光砣，以免發生事故。
6、禁止在拋光機自動工作時將身體任何部位伸入拋光區，以免打傷。
7、更換拋光液時，必須先關閉自動攪拌機，避免傷人。
8、現場地面干凈整齊，不得亂放物品，下班前，切記關閉“水、電、氣”總開關。
9、消防器材擺放位置合理，工作人員必須掌握其操作方法，并定期檢查其是否完好、是否過期。