本文件規定了等離子化學氣相沉積法石英玻璃碇的分級、要求、檢驗方法、檢驗規則、標志、包裝、運輸和貯存。本文件適用于以四氯化硅等無氫含硅化合物為原料，在等離子高溫火焰中氣相化學反應沉積而成的石英玻璃碇。
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