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本標(biāo)準(zhǔn)規(guī)定了硅片工作標(biāo)準(zhǔn)樣品表面元素鐵和/或鎳的化學(xué)收集方法(氣相分解法或直接酸性液滴分解法)和全反射X射線熒光光譜法(TXRF)測定 。