本標準規(guī)定了四氟化硅的技術(shù)要求、試驗方法、標志、包裝、運輸和貯存等內(nèi)容。
本標準適用于螢石硫酸法、六氟硅酸鹽熱分解法、單質(zhì)硅直接氟化法制備的四氟化硅。它主要用作電子工業(yè)中等離子蝕刻、發(fā)光二極管 P形摻雜、離子注入工藝、外延沉積擴散的硅源和光導(dǎo)纖維用高純石英玻璃的原料,也是生產(chǎn)多晶硅的重要原料。
分子式:SiF4。
相對分子質(zhì)量:104.0786128(按2009年國際原子相對質(zhì)量)。
眼部護膚化妝品中禁用水溶性著色劑酸…滌綸牽伸絲莎稗磷乳油有效成分含量的測定方法 …禾草敵乳油有效成分含量的測定方法 …生橡膠 丙烯腈-丁二烯橡膠（NBR）中…鍍膜用氟化鎂塑料薄膜單位面積質(zhì)量試驗方法紡織品 色牢度試驗 耐光黃變色牢度
常用化學危險品貯存通則【作廢】工業(yè)管道的基本識別色、識別符號和安…氣瓶顏色標志【作廢】危險化學品從業(yè)單位安全標準化通用規(guī)范常用危險化學品的分類及標志【作廢】紡織工業(yè)企業(yè)安全管理規(guī)范化工企業(yè)安全衛(wèi)生設(shè)計規(guī)定【作廢】危險化學品貯存通則
