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電子特氣 一氧化氮

標 準 號： GB/T 42721-2023
替代情況：
發(fā)布單位： 國家市場監(jiān)督管理總局 國家標準化管理委員會
起草單位： 江西華特電子化學(xué)品有限公司、華測檢測認證集團股份有限公司、綠菱電子材料(天津)有限公司等
發(fā)布日期： 2023-08-06
實施日期： 2024-03-01
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更新日期： 2023年09月07日
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內(nèi)容摘要

本文件規(guī)定了一氧化氮的技術(shù)要求、采樣、試驗方法、檢驗規(guī)則、標志、包裝、運輸、貯存及安全信息的要求。本文件適用于集成電路等電子工業(yè)制造中使用的電子用一氧化氮。

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