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MEMS慣性器件干法刻蝕工藝技術要求
標 準 號：
SJ 21169-2016
替代情況：
發(fā)布單位：
國家國防科技工業(yè)局
起草單位：
中國電子科技集團公司第十三研究所
發(fā)布日期：
2016-12-14
實施日期：
2017-03-01
點 擊 數(shù)：
更新日期：
2022年08月12日
下載地址：
點擊這里
5.23MB
下載點數(shù)：
30點（VIP會員免費）
內(nèi)容摘要
本標準規(guī)定了MEM慣性器件制造過程中干法刻蝕的工藝流程、工藝要求和檢驗要求。
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Tag:
安全標準
.
慣性器
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