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半導體材料術語

標 準 號： GB/T 14264-2024
替代情況： 替代 GB/T 14264-2009
發(fā)布單位： 國家市場監(jiān)督管理總局 國家標準化管理委員會
起草單位： 有研半導體硅材料股份公司、有色金屬技術經濟研究院有限責任公司
發(fā)布日期： 2024-04-25
實施日期： 2024-11-01
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更新日期： 2024年06月04日
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內容摘要

本文件適用于半導體材料的研發(fā)、生產、制備及相關領域.


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