本標準規定了X射線光電子能譜儀信背比、分辨力、短期電壓穩定性、傳輸特性及能量坐標線性等工作特性的檢查過程。本標準適用于能量通道為數字計數存儲的譜儀。本標準旨在對儀器制造廠商提出的校準步驟進行補充。不能作為不同儀器之間進行性能比較的依據，只能作為某一譜儀工作特性的自治性檢查。使用本標準可能涉及有害的操作、設備及物質。但本標準沒有說明所有相關的安全問題。使用者在使用本標準前，應該制定適當的安全與保健措施，并決定本標準的應用范圍。