本標準規(guī)定了硅單晶切割片、研磨片、拋光片和外延片(簡稱硅片)厚度和總厚度變化的分立式和掃 描式測量方法。
本標準適用于符合GB/T12964、GB/T12965、GB/T14139規(guī)定的尺寸的硅片的厚度和總厚度變 化的測量。在測試儀器允許的情況下,本標準也可用于其他規(guī)格硅片的厚度和總厚度變化的測量。?
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