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砷化鎵表面砷鎵比的測試方法

標 準 號： SJ 20842-2002
替代情況：
發布單位： 信息產業部
起草單位： 中國電子科技集團公司第四十六所
發布日期： 2002-10-30
實施日期： 2003-03-01
點 擊 數：
更新日期： 2025年04月22日
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內容摘要

本標準規定了砷化鎵材料表面鎵砷比的X射線光電子能譜的試驗方法。本標準適用于監測砷化鎵器件制造過程中各種表面處理對砷化鎵晶片表面鎵砷比的影響，也適用于晶片加工中的各種表面處理。

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