本文件描述了采用夏克-哈特曼法測量光學(xué)系統(tǒng)波前像差的原理及方法、測量條件、設(shè)備及裝置、測量步驟以及測量數(shù)據(jù)處理。 ?
本文件適用于采用夏克-哈特曼法測量光學(xué)系統(tǒng)波前像差的測量，也適用于光學(xué)零件面形偏差的測量。