本文件描述了采用顯微散射暗場成像法對光學元件表面疵病進行定量檢測的檢測原理、試驗條件、
儀器設(shè)備、樣品、檢測步驟和試驗數(shù)據(jù)處理和檢測報告。
本文件適用于平板類雙面拋光光學元件表面疵病的長度、寬度、擋光面積以及疵病位置檢測。