本文件規(guī)定了光切顯微鏡的分類、基本參數(shù)和技術要求,描述了相應的試驗方法,規(guī)定了檢驗規(guī)則、標志、包裝、運輸及貯存。
本文件適用于采用光切原理測量表面粗糙度、幅度參數(shù)輪廓最大高度(Rz)和輪廓單元的平均高度(Rc)的光切顯微鏡的制造。
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