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硅晶錠尺寸的測定 激光法

標 準 號: GB/T 37213-2018
替代情況:
發布單位: 國家市場監督管理總局 國家標準化管理委員會
起草單位: 蘇州協鑫光伏科技有限公司、江蘇協鑫硅材料科技發展有限公司、山東大海新能源發展有限公司
發布日期: 2018-12-28
實施日期: 2019-11-01
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更新日期: 2019年04月14日
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內容摘要

本標準規定了采用激光法非接觸式測量方形硅晶錠尺寸的方法,包括對角線、倒角、垂直度、邊長和長度。?本標準適用于半導體及光伏領域硅單晶棒或多晶硅鑄錠切割成的方形硅晶錠尺寸的測量。

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