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硅拋光片表面顆粒測試方法

標 準 號： GB/T 19921-2018
替代情況： 替代 GB/T 19921-2005
發布單位： 國家市場監督管理總局 國家標準化管理委員會
起草單位： 有研半導體材料有限公司、上海合晶硅材料有限公司、浙江金瑞泓科技股份有限公司等
發布日期： 2018-12-28
實施日期： 2019-07-01
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更新日期： 2019年04月24日
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內容摘要

本標準規定了應用掃描表面檢查系統對拋光片、外延片等鏡面晶片表面的局部光散射體進行測試，對局部光散射體與延伸光散射體、散射光與反射光進行區分、識別和測試的方法。

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