本標準規(guī)定了硅片或其他半導體晶片上一串連續(xù)的包括字母和數(shù)字的標記。該編號標記及關(guān)聯(lián)信息被儲存入數(shù)據(jù)庫,對每個硅片起到了在硅片和器件制造期間追溯和控制的目的。本標準定義了晶片標記的基本編碼規(guī)定。無需處理晶片,利用簡單的自動光學字符識別設備就可以對該標記進行獨立和快速人工識別,確保了硅片制造商對晶片標記的一致性,有利于監(jiān)控晶片工藝的變化。
本標準適用于廣泛的晶片產(chǎn)品,如外延片、SOI片、拋光片等等。
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