本標準描述了用低溫傅立葉變換紅外光譜法測定硅單晶中III、V族雜質含量的方法。
本標準適用于硅單晶中的III、V族雜質鋁（Al）、銻（Sb）、砷（As）、硼（B）、鎵（Ga)、銦（In）和 磷（P）含量的測定，各元素的測定范圍（以原子數(shù)計）為1.0×1010 cm-3～4.1×1014 cm-3。
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