本標準規定了電子特氣氣瓶更換操作的術語和定義、相關技術要求、操作流程等內容。本標準適用于半導體、LED、微電子、光伏太陽能等行業中進行SiH4、Cl2、BCl3、SF6、CHF3、NH3等電子特氣氣瓶的更換操作。其它行業或其它特種氣體氣瓶的更換可參照本規范執行。