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氣相二氧化硅生產(chǎn)用四氯化硅

標(biāo) 準(zhǔn) 號(hào)： T/FSI 003-2016
替代情況：
發(fā)布單位： 中國氟硅有機(jī)材料工業(yè)協(xié)會(huì)
起草單位： 宜昌匯富硅材料有限公司、中藍(lán)晨光成都檢測技術(shù)有限公司、廣州吉必盛科 技實(shí)業(yè)有限公司、浙江富士特硅材料有限公司
發(fā)布日期： 2017-04-10
實(shí)施日期： 2017-06-01
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更新日期： 2026年02月03日
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內(nèi)容摘要

氣相二氧化硅生產(chǎn)用四氯化硅的技術(shù)要求、試驗(yàn)方法、檢驗(yàn)規(guī)則、標(biāo)志、包裝、運(yùn)輸、貯存和安全。

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