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微機電系統(tǒng)(MEMS)技術 車規(guī)級MEMS半導體氣體傳感器技術規(guī)范

標 準 號: GB/T 47753-2026
替代情況:
發(fā)布單位: 國家市場監(jiān)督管理總局 國家標準化管理委員會
起草單位: 重慶渝微電子技術研究院有限公司、北京智芯微電子科技有限公司、湖北省產(chǎn)品質量監(jiān)督檢驗研究院等
發(fā)布日期: 2026-07-02
實施日期: 2027-02-01
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更新日期: 2026年08月06日
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內容摘要

本文件規(guī)定了車規(guī)級MEMS半導體氣體傳感器的分類、基本參數(shù)、性能要求、試驗方法。

本文件適用于采用MEMS工藝制作的車規(guī)級MEMS半導體氣體傳感器的設計、生產(chǎn)和檢驗。包括車內/外空氣質量傳感器、車載人體呼出氣體傳感器、汽車尾氣傳感器、新能源車動力安全氣體傳感器(如車用動力電池安全氣體傳感器和燃料電池車安全氣體傳感器)等。

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