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含工藝腔室類集成電路裝備設計信息模型

標 準 號： GB/T 37959-2019
替代情況：
發(fā)布單位： 國家市場監(jiān)督管理總局 國家標準化管理委員會
起草單位： 中車信息技術有限公司、清華大學、北京機械工業(yè)自動化研究所有限公司、中國石油規(guī)劃總院
發(fā)布日期： 2019-08-30
實施日期： 2020-03-01
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更新日期： 2026年08月14日
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內(nèi)容摘要

本標準規(guī)定了含工藝腔室類集成電路的IC裝備建模仿真設計軟件平臺信息模型，規(guī)定了搭建含工藝腔室類集成電路的IC裝備建模仿真設計軟件平臺的一般性要求。 ?
本標準適用于含工藝腔室類集成電路裝備的建模仿真設計軟件。

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