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多晶硅安全生產(chǎn)規(guī)范

標 準 號： AQ 3065-2025
替代情況：
發(fā)布單位： 中華人民共和國應急管理部
起草單位： 中國氟硅有機材料工業(yè)協(xié)會、四川永祥股份有限公司、江蘇中能硅業(yè)科技發(fā)展有限公司 等
發(fā)布日期： 2025-12-13
實施日期： 2026-11-01
點 擊 數(shù)：
更新日期： 2026年01月05日
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內容摘要

本文件規(guī)定了多晶硅安全生產(chǎn)的基本要求、生產(chǎn)安全、儲存安全及應急處置的要求。
本文件適用于采用三氯氫硅還原法工藝、硅烷法工藝生產(chǎn)多晶硅企業(yè)的安全運行。

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