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濺射離子泵 試驗方法

標 準 號： SJ 1781-1981
替代情況：
發布單位： 第四機械工業部
起草單位：
發布日期： 1981-03-27
實施日期： 1981-08-01
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更新日期： 2026年08月14日
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內容摘要

本標準適用于抽氣速率大于10升/秒的濺射離子泵.


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