本文件描述了300 mm硅片表面0.2 mm~20 mm空間波長范圍內(nèi)的納米形貌（NT）評價方法。
本文件適用于硅拋光片、硅外延片、絕緣體上硅（SOI）片等300 mm無圖形硅片的評價。
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