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半導體集成電路制造業 晶圓 綠色工廠評價要求

標 準 號： T∕CESA 1081-2020
替代情況：
發布單位： 中國電子工業標準化技術協會
起草單位： 中國電子技術標準化研究院、北京賽西認證有限責任公司、中芯北方集成電路制 造（北京）有限公司
發布日期： 2020-06-20
實施日期： 2020-06-20
點 擊 數：
更新日期： 2026年08月07日
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內容摘要

本標準規定了半導體集成電路制造業晶圓綠色工廠評價（以下簡稱“評價”）的原則、方法、指標體系及要求、程序等。


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